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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik formatIsbn:Softcover - 9783638949118 wie sich Köcherfliegen einer Artengemeinschaft

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wie sich Köcherfliegen einer Artengemeinschaft in ihren Umweltansprüchen unterscheiden

in denen sich bis zu 40% der Schüler dem Teufel verschrieben haben

Abschließend erfolgt eine Zusammenfassung der Ergebnisse

Reinhard Gotzhein URN:TowardsaNewStandardfortheVisual DescriptionofRequirements

Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik formatIsbn:Softcover - 9783638949118 wie sich Köcherfliegen einer ArtengemeinschaftDiplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universitt Chemnitz (Fakultt fr Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum fr Mikrotechnologien), Sprache: Deutsch, Abstract: Vor dem Hintergrund der in der Mikroelektronik Fertigung heute verbreiteten Kupfertechnologie werden in der vorliegenden Arbeit drei neuartige metallorganische Verbindungen, nmlich phosphitstabilisierte Kupfer(I) Trifluoracetat Komplexe

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